青山学院大学図書館
ログイン
  • 目録検索 目録検索 ▼
  • 利用者サービス MyLibrary（利用者サービス）▼
    • 利用状況の確認
    • ブックマーク
    • お気に入り検索
    • 新着アラート
    • ILL複写依頼
    • ILL貸借依頼
    • 新規購入依頼
    • オリエンテーション予約（教員）
    • オンライン施設予約

青山学院大学図書館

透明酸化物導電膜のスパッタ成膜プロセスのin-situ解析

塚本, 直樹, Issued : 2014. <TF01303884>
登録タグ：
登録されているタグはありません
便利機能：
レビューを見る 詳細情報を見る
書誌URL：

透明酸化物導電膜のスパッタ成膜プロセスのin-situ解析

塚本, 直樹, Issued : 2014. <TF01303884>
登録タグ：
登録されているタグはありません
便利機能：
レビューを見る 詳細情報を見る
書誌URL：

ページリンク
47035.pdf   

書誌詳細

コレクションコード 博士論文
コレクションコード 博士学位論文
タイトル 透明酸化物導電膜のスパッタ成膜プロセスのin-situ解析
トウメイ サンカブツ ドウデンマク ノ スパッタ セイマク プロセス ノ in - situ カイセキ
タイトル(その他) In-situ analysis on sputter deposition process for transparent conducting oxides
作成者 塚本, 直樹
ツカモト, ナオキ
出版者 青山学院大学
出版者 アオヤマ ガクイン ダイガク
DOI URL https://doi.org/10.34321/17130
日付 Issued : 2014
資源タイプ doctoral thesis
資料種別(NIIタイプ) 学位論文
物理的形態 PDFファイル
アクセス権 open access
報告番号 甲第258号
学位記番号 32601A258
学位名 博士(理学)
学位授与年月日 2014.03.25
学位授与機関 32601 : 青山学院大学
このページのTOPへ
このページのTOPへ

  • 関連情報

    他の検索サイトで探す

    この書誌のQRコード