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透明酸化物導電膜のスパッタ成膜プロセスのin-situ解析

塚本, 直樹, Issued : 2013, 博士学位論文 : 論文の内容の要旨及び審査の結果の要旨. ; 66(Page:99-112). <TF01303895>
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透明酸化物導電膜のスパッタ成膜プロセスのin-situ解析

塚本, 直樹, Issued : 2013, 博士学位論文 : 論文の内容の要旨及び審査の結果の要旨. ; 66(Page:99-112). <TF01303895>
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46762.pdf   

書誌詳細

コレクションコード 博士論文
コレクションコード 博士学位論文：内容の要旨および審査の結果の要旨
タイトル 透明酸化物導電膜のスパッタ成膜プロセスのin-situ解析
トウメイ サンカブツ ドウデンマク ノ スパッタ セイマク プロセス ノ in situ カイセキ
タイトル(その他) In-situ analysis on sputter deposition process for transparent conducting oxides
作成者 塚本, 直樹
ツカモト, ナオキ
出版者 青山学院大学
出版者 アオヤマ ガクイン ダイガク
収録物名 博士学位論文 : 論文の内容の要旨及び審査の結果の要旨
巻次等 66
開始ページ 99
終了ページ 112
日付 Issued : 2013
資源タイプ doctoral thesis
資料種別(NIIタイプ) 学位論文
物理的形態 PDFファイル
アクセス権 open access
報告番号 甲第258号
学位記番号 32601A23
学位名 博士(理学)
学位授与年月日 2014.03.25
学位授与機関 32601 : 青山学院大学
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