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オゾン添加反応性直流マグネトロンスパッタによるITOの成膜 (高機能性を有する無機薄膜材料)

重里, 有三, Issued : 2001.03, 青山学院大学総合研究所理工学研究センター研究叢書. ; 36(Page:3-16). <TF01308470>
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オゾン添加反応性直流マグネトロンスパッタによるITOの成膜 (高機能性を有する無機薄膜材料)

重里, 有三, Issued : 2001.03, 青山学院大学総合研究所理工学研究センター研究叢書. ; 36(Page:3-16). <TF01308470>
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36_00000004-00000017.pdf        ファイルを参照する
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書誌詳細

コレクションコード 紀要論文
コレクションコード 青山学院大学総合研究所理工学研究センター研究叢書
コレクションコード 36
ソースレコードID AA11570877
タイトル オゾン添加反応性直流マグネトロンスパッタによるITOの成膜 (高機能性を有する無機薄膜材料)
オゾン テンカ ハンノウセイ チョクリュウ マグネトロンスパッタ ニヨル ITO ノ セイマク コウキノウセイ オ ユウスル ムキ ハクマク ザイリョウ
作成者 重里, 有三
シゲサト, ユウゾウ
Shigesato, Yuzo
NCID AA11570877
ISSN(プリント) 09176713
DOI URL https://doi.org/10.34321/9183
収録物名 青山学院大学総合研究所理工学研究センター研究叢書
巻次等 36
開始ページ 3
終了ページ 16
日付 Issued : 2001.03
資源タイプ departmental bulletin paper
資料種別(NIIタイプ) 紀要論文
アクセス権 open access
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