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プラズマ CVD による機能性薄膜の育成 (高機能性を有する無機薄膜材料)

松本, 修, Issued : 2001.03, 青山学院大学総合研究所理工学研究センター研究叢書. ; 36(Page:87-95). <TF01308474>
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プラズマ CVD による機能性薄膜の育成 (高機能性を有する無機薄膜材料)

松本, 修, Issued : 2001.03, 青山学院大学総合研究所理工学研究センター研究叢書. ; 36(Page:87-95). <TF01308474>
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本文ファイルへのリンク
36_00000077-00000085.pdf        ファイルを参照する
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書誌詳細

コレクションコード 紀要論文
コレクションコード 青山学院大学総合研究所理工学研究センター研究叢書
コレクションコード 36
ソースレコードID AA11570877
タイトル プラズマ CVD による機能性薄膜の育成 (高機能性を有する無機薄膜材料)
プラズマ CVD ニヨル キノウセイ ハクマク ノ イクセイ コウキノウセイ オ ユウスル ムキ ハクマク ザイリョウ
作成者 松本, 修
マツモト, オサム
Matsumoto, Osamu
NCID AA11570877
ISSN(プリント) 09176713
DOI URL https://doi.org/10.34321/9188
収録物名 青山学院大学総合研究所理工学研究センター研究叢書
巻次等 36
開始ページ 87
終了ページ 95
日付 Issued : 2001.03
資源タイプ departmental bulletin paper
資料種別(NIIタイプ) 紀要論文
アクセス権 open access
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