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半導体立国 : 製造装置の明日を語る

日本半導体製造装置協会編. -- 日刊工業新聞社, 1996. <BB00933462>
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No. 巻号 所蔵館 配置場所 請求記号 資料ID 状態 コメント 予約 WEB書棚
0001 相模原分館 相自動書庫図書 549.8||N59H 779705705 0件
No. 0001
巻号
所蔵館 相模原分館
配置場所 相自動書庫図書
請求記号 549.8||N59H
資料ID 779705705
状態
コメント
予約 0件
WEB書棚

書誌詳細

標題および責任表示 半導体立国 : 製造装置の明日を語る / 日本半導体製造装置協会編
ハンドウタイ リッコク : セイゾウ ソウチ ノ アス オ カタル
出版・頒布事項 東京 : 日刊工業新聞社 , 1996.11
形態事項 xi, 258p ; 19cm
巻号情報
ISBN 4526039373
注記 監修:金山敏彦
NCID BN15450516
本文言語コード 日本語
著者標目リンク 日本半導体製造装置協会||ニホン ハンドウタイ セイゾウ ソウチ キョウカイ <AU40027306>
分類標目 電子工学 NDC8:549.8
件名標目等 半導体||ハンドウタイ