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Journal of vacuum science & technology. Second series. B, Microelectronics and nanometer structures, processing, measurement and phenomena

Vol. 9, no. 1 (Jan./Feb. 1991)-. -- American Institute of Physics, 1991. <SB00294462>
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Journal of vacuum science & technology. Second series. B, Microelectronics and nanometer structures, processing, measurement and phenomena

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配置場所 巻号 年月次 購読状況 コメント アラート
相キャンパス 15-22 1997-2004
配置場所 相キャンパス
巻号 15-22
年月次 1997-2004
購読状況
ユーザ２
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書誌詳細

標題および責任表示 Journal of vacuum science & technology. Second series. B, Microelectronics and nanometer structures, processing, measurement and phenomena
巻次・年月次 Vol. 9, no. 1 (Jan./Feb. 1991)-
出版・頒布事項 New York : American Institute of Physics , 1991-
形態事項 v. : ill. ; 29 cm
その他の標題 表紙タイトル:Journal of vacuum science and technology. B, 2nd series. Nanotechnology & microelectronics: mateials, processing, mesurement, & phenomena
その他の標題 背表紙タイトル:JVSTB, Nanotechnology & microelectronics
NCID AA10804928
本文言語コード 英語
刊行頻度コード 隔月刊
ISSN 10711023
書誌変遷リンク 継続前誌 :Journal of vacuum science & technology. 2nd series B, Microelectronics processing and phenomena : an official journal of the American Vacuum Society <NC:AA10635106>
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