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Glow discharge processes : sputtering and plasma etching

Brian Chapman. -- Wiley, 1980. -- (A Wiley-Interscience publication). <BB00383134>
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Brian Chapman. -- Wiley, 1980. -- (A Wiley-Interscience publication). <BB00383134>
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No. 巻号 所蔵館 配置場所 請求記号 資料ID 状態 コメント 予約 WEB書棚
0001 相模原分館 相自動書庫図書 537.52||C31G 758100014 0件
No. 0001
巻号
所蔵館 相模原分館
配置場所 相自動書庫図書
請求記号 537.52||C31G
資料ID 758100014
状態
コメント
予約 0件
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書誌詳細

標題および責任表示 Glow discharge processes : sputtering and plasma etching / Brian Chapman
出版・頒布事項 New York : Wiley , 1980
形態事項 xv, 406 p. : ill. ; 24 cm
巻号情報
ISBN 047107828X
書誌構造リンク A Wiley-Interscience publication <BB01194322>//a
注記 Includes Bibliography and index
NCID BA00536398
本文言語コード 英語
著者標目リンク *Chapman, Brian N. <AU40142739>
分類標目 電磁気学 NDC8:427.5
分類標目 LCC:QC702.7.P6
分類標目 DC:537.5/2
件名標目等 Sputtering (Physics)
件名標目等 Glow discharges
件名標目等 Plasma etching
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