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Thin film and depth profile analysis

edited by H. Oechsner ; with contributions by H.-W. Etzkorn ... [et al.] ; : us, : gw. -- Springer-Verlag, 1984. -- (Topics in current physics ; 37). <BB00092240>
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Thin film and depth profile analysis

edited by H. Oechsner ; with contributions by H.-W. Etzkorn ... [et al.] ; : us, : gw. -- Springer-Verlag, 1984. -- (Topics in current physics ; 37). <BB00092240>
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No. 巻号 所蔵館 配置場所 請求記号 資料ID 状態 コメント 予約 WEB書棚
0001 : gw 相模原分館 相自動書庫図書 530.41||TH3 758402161 0件
No. 0001
巻号 : gw
所蔵館 相模原分館
配置場所 相自動書庫図書
請求記号 530.41||TH3
資料ID 758402161
状態
コメント
予約 0件
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書誌詳細

標題および責任表示 Thin film and depth profile analysis / edited by H. Oechsner ; with contributions by H.-W. Etzkorn ... [et al.]
出版・頒布事項 Berlin ; New York ; Tokyo : Springer-Verlag , 1984
形態事項 xi, 205 p. : ill. ; 25 cm
巻号情報
巻次等 : us
ISBN 0387133208
巻号情報
巻次等 : gw
ISBN 3540133208
書誌構造リンク Topics in current physics <BB00048045> 37//b
注記 Includes bibliographical references and index
NCID BA03990434
本文言語コード 英語
著者標目リンク Oechsner, H. (Hans), 1934- <AU60004914>
著者標目リンク Etzkorn, H. W. <AU60004915>
分類標目 LCC:QC176.84.S93
分類標目 DC19:530.4/1
件名標目等 Thin films -- Surfaces
件名標目等 Surface chemistry
件名標目等 Sputtering (Physics)
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