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An introduction to semiconductor microtechnology

D.V. Morgan, K. Board. -- 2nd ed. -- J. Wiley, 1990. <BB00873660>
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D.V. Morgan, K. Board. -- 2nd ed. -- J. Wiley, 1990. <BB00873660>
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No. 巻号 所蔵館 配置場所 請求記号 資料ID 状態 コメント 予約 WEB書棚
0001 相模原分館 相自動書庫図書 621.3815||MO44I||1990 779101160 0件
No. 0001
巻号
所蔵館 相模原分館
配置場所 相自動書庫図書
請求記号 621.3815||MO44I||1990
資料ID 779101160
状態
コメント
予約 0件
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書誌詳細

標題および責任表示 An introduction to semiconductor microtechnology / D.V. Morgan, K. Board
版事項 2nd ed
出版・頒布事項 Chichester, West Sussex, England ; New York : J. Wiley , c1990
形態事項 xiv, 208 p. : ill. ; 24 cm
巻号情報
ISBN 0471924784
注記 Includes bibliographical references and index
NCID BA10241244
本文言語コード 英語
著者標目リンク *Morgan, D. V. <AU40125468>
著者標目リンク Board, K. <AU40125469>
分類標目 LCC:TK7871.85
分類標目 DC20:621.381/52
件名標目等 Semiconductors -- Design and construction
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