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Handbook of semiconductor wafer cleaning technology : science, technology, and applications

edited by Werner Kern. -- Noyes Publications, 1993. <BB01106000>
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Handbook of semiconductor wafer cleaning technology : science, technology, and applications

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所蔵一覧 1件～1件（全1件）

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No. 巻号 所蔵館 配置場所 請求記号 資料ID 状態 コメント 予約 WEB書棚
0001 相模原分館 相自動書庫図書 549.8||KE57H 779500724 0件
No. 0001
巻号
所蔵館 相模原分館
配置場所 相自動書庫図書
請求記号 549.8||KE57H
資料ID 779500724
状態
コメント
予約 0件
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書誌詳細

標題および責任表示 Handbook of semiconductor wafer cleaning technology : science, technology, and applications / edited by Werner Kern
出版・頒布事項 Park Ridge, N.J. : Noyes Publications , c1993
形態事項 xx, 623 p. : ill. ; 25 cm
巻号情報
ISBN 0815513313
注記 Includes bibliographical references and index
NCID BA21455942
本文言語コード 英語
著者標目リンク Kern, Werner, 1925- <AU60005724>
分類標目 LCC:TK7871.85
分類標目 DC20:621.3815/2
件名標目等 Semiconductor wafers -- Cleaning
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