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自己組織化プロセス技術

村田好正, 尾関雅志, 野崎眞次共編. -- 培風館, 1999. -- (アドバンストエレクトロニクスシリーズ / 菅野卓雄 [ほか] 監修 ; カテゴリー1 . エレクトロニクス材料・物性・デバイス ; 20). <BB00534559>
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No. 巻号 所蔵館 配置場所 請求記号 資料ID 状態 コメント 予約 WEB書棚
0001 相模原分館 相2F一般500 549||AD7||V.1-20 880707299 0件
No. 0001
巻号
所蔵館 相模原分館
配置場所 相2F一般500
請求記号 549||AD7||V.1-20
資料ID 880707299
状態
コメント
予約 0件
WEB書棚

書誌詳細

標題および責任表示 自己組織化プロセス技術 / 村田好正, 尾関雅志, 野崎眞次共編
ジコ ソシキカ プロセス ギジュツ
出版・頒布事項 東京 : 培風館 , 1999.7
形態事項 x, 307p ; 22cm
巻号情報
ISBN 456303620X
書誌構造リンク アドバンストエレクトロニクスシリーズ / 菅野卓雄 [ほか] 監修||アドバンスト エレクトロニクス シリーズ <BB00638429> カテゴリー1 . エレクトロニクス材料・物性・デバイス||エレクトロニクス ザイリョウ ブッセイ デバイス ; 20//aa
注記 参考文献: 各章末
NCID BA4214337X
本文言語コード 日本語
著者標目リンク 村田, 好正(1935-)||ムラタ, ヨシタダ <AU40184913>
著者標目リンク 尾関, 雅志||オゼキ, マサシ <AU50045393>
著者標目リンク 野崎, 眞次||ノザキ, シンジ <AU50045394>
分類標目 電子工学 NDC8:549.8
分類標目 電子工学 NDC9:549.8
分類標目 科学技術 NDLC:ND371
件名標目等 半導体||ハンドウタイ
件名標目等 半導体||ハンドウタイ