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はじめての半導体リソグラフィ技術

岡崎信次, 鈴木章義, 上野巧著. -- 工業調査会, 2003. -- (ビギナーズブックス ; 29). <BB00366274>
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はじめての半導体リソグラフィ技術

岡崎信次, 鈴木章義, 上野巧著. -- 工業調査会, 2003. -- (ビギナーズブックス ; 29). <BB00366274>
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No. 巻号 所蔵館 配置場所 請求記号 資料ID 状態 コメント 予約 WEB書棚
0001 相模原分館 相2F一般500 549.7||O48H 880407201 0件
No. 0001
巻号
所蔵館 相模原分館
配置場所 相2F一般500
請求記号 549.7||O48H
資料ID 880407201
状態
コメント
予約 0件
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書誌詳細

標題および責任表示 はじめての半導体リソグラフィ技術 / 岡崎信次, 鈴木章義, 上野巧著
ハジメテ ノ ハンドウタイ リソグラフィ ギジュツ
出版・頒布事項 東京 : 工業調査会 , 2003.6
形態事項 305p ; 21cm
巻号情報
ISBN 4769312245
書誌構造リンク ビギナーズブックス||ビギナーズ ブックス <BB00642450> 29//a
NCID BA62674459
本文言語コード 日本語
著者標目リンク 岡崎, 信次||オカザキ, シンジ <AU50007856>
著者標目リンク 鈴木, 章義||スズキ, アキヨシ <AU50007857>
著者標目リンク 上野, 巧||ウエノ, タクミ <AU50007858>
分類標目 電子工学 NDC8:549.7
分類標目 電子工学 NDC9:549.7
件名標目等 リソグラフィー||リソグラフィー
件名標目等 半導体||ハンドウタイ
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