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マイクロ・ナノマシン技術入門 : 半導体技術で作る微小機械とその応用

藤田博之著. -- 工業調査会, 2003. <BB01035935>
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マイクロ・ナノマシン技術入門 : 半導体技術で作る微小機械とその応用

藤田博之著. -- 工業調査会, 2003. <BB01035935>
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No. 巻号 所蔵館 配置場所 請求記号 資料ID 状態 コメント 予約 WEB書棚
0001 相模原分館 相2F一般500 530||F67MA 880306377 0件
No. 0001
巻号
所蔵館 相模原分館
配置場所 相2F一般500
請求記号 530||F67MA
資料ID 880306377
状態
コメント
予約 0件
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書誌詳細

標題および責任表示 マイクロ・ナノマシン技術入門 : 半導体技術で作る微小機械とその応用 / 藤田博之著
マイクロ ナノマシン ギジュツ ニュウモン : ハンドウタイ ギジュツ デ ツクル ビショウ キカイ ト ソノ オウヨウ
出版・頒布事項 東京 : 工業調査会 , 2003.8
形態事項 232p ; 21cm
巻号情報
ISBN 4769371179
NCID BA6332701X
本文言語コード 日本語
著者標目リンク 藤田, 博之(1952-)||フジタ, ヒロユキ <AU40151824>
分類標目 機械工学．原子力工学 NDC8:530
分類標目 機械工学 NDC9:530
件名標目等 マイクロマシン||マイクロマシン
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