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イオン工学ハンドブック : ナノテクノロジーへの道を拓く : 薄膜合成・加工・イオン注入・表面改質・デバイス応用・マイクロマシン等

平尾孝編集委員長 ; 岩本信也 [ほか] 編集委員. -- イオン工学研究所, 2003. <BB01043279>
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イオン工学ハンドブック : ナノテクノロジーへの道を拓く : 薄膜合成・加工・イオン注入・表面改質・デバイス応用・マイクロマシン等

平尾孝編集委員長 ; 岩本信也 [ほか] 編集委員. -- イオン工学研究所, 2003. <BB01043279>
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No. 巻号 所蔵館 配置場所 請求記号 資料ID 状態 コメント 予約 WEB書棚
0001 相模原分館 相自動書庫図書 549.1||H67I 880401929 0件
No. 0001
巻号
所蔵館 相模原分館
配置場所 相自動書庫図書
請求記号 549.1||H67I
資料ID 880401929
状態
コメント
予約 0件
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書誌詳細

標題および責任表示 イオン工学ハンドブック : ナノテクノロジーへの道を拓く : 薄膜合成・加工・イオン注入・表面改質・デバイス応用・マイクロマシン等 / 平尾孝編集委員長 ; 岩本信也 [ほか] 編集委員
イオン コウガク ハンド ブック : ナノ テクノロジー エノ ミチ オ ヒラク : ハクマク ゴウセイ カコウ イオン チュウニュウ ヒョウメン カイシツ デバイス オウヨウ マイクロ マシン トウ
出版・頒布事項 枚方 : イオン工学研究所 , 2003.5
形態事項 xviii, 1126p ; 27cm
その他の標題 異なりアクセスタイトル:ナノテクノロジーへの道を拓くイオン工学ハンドブック
ナノ テクノロジー エノ ミチ オ ヒラク イオン コウガク ハンド ブック
注記 監修: 水野博之
注記 その他の編集委員: 尾浦憲治郎 , 鯉沼秀臣, 笹部馨, 松波弘之
注記 参考文献あり
NCID BA63759670
本文言語コード 日本語
著者標目リンク 平尾, 孝||ヒラオ, タカシ <AU40140374>
著者標目リンク 岩本, 信也||イワモト, ノブヤ <AU50001303>
著者標目リンク 尾浦, 憲治郎(1941-)||オウラ, ケンジロウ <AU50001304>
著者標目リンク 鯉沼, 秀臣||コイヌマ, ヒデオミ <AU40155005>
著者標目リンク 笹部, 馨
ササベ, カオル <>
著者標目リンク 松波, 弘之(1939-)||マツナミ, ヒロユキ <AU40165253>
著者標目リンク 水野, 博之||ミズノ, ヒロユキ <AU40009889>
分類標目 電子工学 NDC9:549.1
分類標目 科学技術 NDLC:ND351
件名標目等 イオン||イオン
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