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プラズマイオンプロセスとその応用

電気学会・プラズマイオン高度利用プロセス調査専門委員会編. -- オーム社, 2005. <BB01075334>
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プラズマイオンプロセスとその応用

電気学会・プラズマイオン高度利用プロセス調査専門委員会編. -- オーム社, 2005. <BB01075334>
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所蔵一覧 1件～2件（全2件）

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No. 巻号 所蔵館 配置場所 請求記号 資料ID 状態 コメント 予約 WEB書棚
0001 相模原分館 相2F一般500 549.1||D58P 880509634 0件
0002 青山本館 青3F和図一般 549.1||D1-1 000600600 0件
No. 0001
巻号
所蔵館 相模原分館
配置場所 相2F一般500
請求記号 549.1||D58P
資料ID 880509634
状態
コメント
予約 0件
WEB書棚
No. 0002
巻号
所蔵館 青山本館
配置場所 青3F和図一般
請求記号 549.1||D1-1
資料ID 000600600
状態
コメント
予約 0件
WEB書棚
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書誌詳細

標題および責任表示 プラズマイオンプロセスとその応用 / 電気学会・プラズマイオン高度利用プロセス調査専門委員会編
プラズマ イオン プロセス ト ソノ オウヨウ
出版・頒布事項 東京 : オーム社 , 2005.10
形態事項 xi, 279p ; 22cm
巻号情報
ISBN 4274201236
注記 文献:章末
NCID BA73952112
本文言語コード 日本語
著者標目リンク 電気学会||デンキ ガッカイ <AU40000054>
著者標目リンク 電気学会・プラズマイオン高度利用プロセス調査専門委員会
デンキ ガッカイ プラズマ イオン コウド リヨウ プロセス チョウサ センモン イインカイ <>
分類標目 電子工学 NDC8:549.1
分類標目 電子工学 NDC9:549.1
件名標目等 イオンビーム加工||イオンビームカコウ
件名標目等 プラズマ物理学||プラズマブツリガク
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