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マイクロ・ナノ領域の超精密技術

日本学術振興会将来加工技術第136委員会編. -- オーム社, 2011. <BB01141151>
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マイクロ・ナノ領域の超精密技術

日本学術振興会将来加工技術第136委員会編. -- オーム社, 2011. <BB01141151>
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No. 巻号 所蔵館 配置場所 請求記号 資料ID 状態 コメント 予約 WEB書棚
0001 相模原分館 相2F一般500 532||N71M 881102617 0件
No. 0001
巻号
所蔵館 相模原分館
配置場所 相2F一般500
請求記号 532||N71M
資料ID 881102617
状態
コメント
予約 0件
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書誌詳細

標題および責任表示 マイクロ・ナノ領域の超精密技術 / 日本学術振興会将来加工技術第136委員会編
マイクロ ナノ リョウイキ ノ チョウセイミツ ギジュツ
出版・頒布事項 東京 : オーム社 , 2011.3
形態事項 ix, 374p : 挿図 ; 22cm
巻号情報
ISBN 9784274210051
その他の標題 異なりアクセスタイトル:マイクロナノ領域の超精密技術
マイクロ ナノ リョウイキ ノ チョウセイミツ ギジュツ
注記 参考文献: 章末
NCID BB05402454
本文言語コード 日本語
著者標目リンク 日本学術振興会将来加工技術第136委員会||ニホン ガクジュツ シンコウカイ ショウライ カコウ ギジュツ ダイ136 イインカイ <AU60024855>
分類標目 機械工作．工作機械 NDC8:532
分類標目 機械工作．工作機械 NDC9:532
件名標目等 機械工作||キカイコウサク
件名標目等 ナノテクノロジー||ナノテクノロジー
件名標目等 精密機械||セイミツキカイ
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