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フォトマスク : 電子部品製造の基幹技術

田邉功, 竹花洋一, 法元盛久共著. -- 東京電機大学出版局, 2011. <BB01148029>
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フォトマスク : 電子部品製造の基幹技術

田邉功, 竹花洋一, 法元盛久共著. -- 東京電機大学出版局, 2011. <BB01148029>
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No. 巻号 所蔵館 配置場所 請求記号 資料ID 状態 コメント 予約 WEB書棚
0001 相模原分館 相2F一般500 549.7||TA83F 881103600 0件
No. 0001
巻号
所蔵館 相模原分館
配置場所 相2F一般500
請求記号 549.7||TA83F
資料ID 881103600
状態
コメント
予約 0件
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書誌詳細

標題および責任表示 フォトマスク : 電子部品製造の基幹技術 / 田邉功, 竹花洋一, 法元盛久共著
フォトマスク : デンシ ブヒン セイゾウ ノ キカン ギジュツ
出版・頒布事項 東京 : 東京電機大学出版局 , 2011.4
形態事項 323p ; 21cm
巻号情報
ISBN 9784501328207
その他の標題 標題紙タイトル:Photomask technology
注記 参考文献: 各章末
NCID BB05599166
本文言語コード 日本語
著者標目リンク 田辺, 功(1937-)||タナベ, イサオ <AU60024962>
著者標目リンク 竹花, 洋一||タケハナ, ヨウイチ <AU60024963>
著者標目リンク 法元, 盛久||ホウガ, モリヒサ <AU60024964>
分類標目 電子工学 NDC8:549.7
分類標目 電子工学 NDC9:549.7
件名標目等 リソグラフィー||リソグラフィー
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