青山学院大学図書館
ログイン
  • 目録検索 目録検索 ▼
  • 利用者サービス MyLibrary（利用者サービス）▼
    • 利用状況の確認
    • ブックマーク
    • お気に入り検索
    • 新着アラート
    • ILL複写依頼（他機関への文献複写依頼）
    • ILL貸借依頼（他機関への文献貸借依頼）
    • 新規購入依頼
    • 論文登録
    • オリエンテーション予約（教員）
    • オンライン施設予約

青山学院大学図書館

前の画面へ戻る

EUV光源の開発と応用

豊田浩一, 岡崎信次監修. -- 普及版. -- シーエムシー出版, 2013. -- (CMCテクニカルライブラリー ; 450 . エレクトロニクスシリーズ). <BB00291136>
登録タグ：
登録されているタグはありません
便利機能：
レビューを見る 詳細情報を見る
書誌URL：

EUV光源の開発と応用

豊田浩一, 岡崎信次監修. -- 普及版. -- シーエムシー出版, 2013. -- (CMCテクニカルライブラリー ; 450 . エレクトロニクスシリーズ). <BB00291136>
登録タグ：
登録されているタグはありません
便利機能：
レビューを見る 詳細情報を見る
書誌URL：

所蔵一覧 1件～1件（全1件）

ナンバーをクリックすると所蔵詳細をみることができます。

No. 巻号 所蔵館 配置場所 請求記号 資料ID 状態 コメント 予約 WEB書棚
0001 相模原分館 相2F一般500 549.9||E87 881301551 0件
No. 0001
巻号
所蔵館 相模原分館
配置場所 相2F一般500
請求記号 549.9||E87
資料ID 881301551
状態
コメント
予約 0件
WEB書棚
このページのTOPへ
このページのTOPへ

書誌詳細

標題および責任表示 EUV光源の開発と応用 / 豊田浩一, 岡崎信次監修
EUV コウゲン ノ カイハツ ト オウヨウ
版事項 普及版
出版・頒布事項 東京 : シーエムシー出版 , 2013.3
形態事項 vi, 273p : 挿図 ; 26cm
巻号情報
ISBN 9784781307091
書誌構造リンク CMCテクニカルライブラリー||CMC テクニカル ライブラリー <BB00273889> 450 . エレクトロニクスシリーズ||エレクトロニクス シリーズ//aa
その他の標題 標題紙タイトル:Development and application of extreme ultraviolet light source
注記 「EUV光源の開発と応用」(2007年刊)の普及版
注記 文献: 各章末
NCID BB12085089
本文言語コード 日本語
著者標目リンク 豊田, 浩一||トヨダ, コウイチ <AU60043216>
著者標目リンク 岡崎, 信次||オカザキ, シンジ <AU50007856>
分類標目 電子工学 NDC8:549.95
分類標目 電子工学 NDC9:549.95
件名標目等 紫外線||シガイセン
件名標目等 リソグラフィー||リソグラフィー
このページのTOPへ
前の画面へ戻る
このページのTOPへ

  • 関連情報

    関連資料

    他の検索サイトで探す

    この書誌のQRコード