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超並列電子ビーム描画装置の開発 : 集積回路のディジタルファブリケーションを目指して

江刺正喜 [ほか] 著. -- 東北大学出版会, 2018. <BB00477876>
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超並列電子ビーム描画装置の開発 : 集積回路のディジタルファブリケーションを目指して

江刺正喜 [ほか] 著. -- 東北大学出版会, 2018. <BB00477876>
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No. 巻号 所蔵館 配置場所 請求記号 資料ID 状態 コメント 予約 WEB書棚
0001 相模原分館 相2F一般500 549.1||E71C 881804318 0件
No. 0001
巻号
所蔵館 相模原分館
配置場所 相2F一般500
請求記号 549.1||E71C
資料ID 881804318
状態
コメント
予約 0件
WEB書棚
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書誌詳細

標題および責任表示 超並列電子ビーム描画装置の開発 : 集積回路のディジタルファブリケーションを目指して / 江刺正喜 [ほか] 著
チョウヘイレツ デンシ ビーム ビョウガ ソウチ ノ カイハツ : シュウセキ カイロ ノ ディジタル ファブリケーション オ メザシテ
出版・頒布事項 仙台 : 東北大学出版会 , 2018.6
形態事項 vii, 228p : 挿図 ; 21cm
巻号情報
ISBN 9784861632969
その他の標題 その他のタイトル:Development of massive parallel electron beam write system : aiming at digital fabrication of integrated circuits
その他の標題 異なりアクセスタイトル:超並列電子ビーム描画装置の開発 : 集積回路のディジタルファブリケーションを目指して
チョウ ヘイレツ デンシ ビーム ビョウガ ソウチ ノ カイハツ : シュウセキ カイロ ノ ディジタル ファブリケーション オ メザシテ
注記 その他のタイトルは標題紙裏による
注記 その他の著者: 宮口裕, 小島明, 池上尚克, 越田信義, 菅田正徳, 大井英之
注記 関係発表文献一覧: p217-223
注記 参考文献: 各章末
NCID BB26418124
本文言語コード 日本語
著者標目リンク 江刺, 正喜(1949-)||エサシ, マサヨシ <AU40151823>
著者標目リンク 宮口, 裕
ミヤグチ, ヒロシ <>
著者標目リンク 小島, 明
コジマ, アキラ <>
著者標目リンク 池上, 尚克
イケガミ, ナオカツ <>
著者標目リンク 越田, 信義||コシダ, ノブヨシ <AU60029937>
著者標目リンク 菅田, 正徳
スガタ, マサノリ <>
著者標目リンク 大井, 英之
オオイ, ヒデユキ <>
分類標目 電子工学 NDC8:549.1
分類標目 電子工学 NDC9:549.1
分類標目 電子工学 NDC10:549.1
件名標目等 電子線||デンシセン
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