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プロセスの低温化

西澤潤一編. -- 工業調査会, 1985. -- (半導体研究 / 半導体研究振興会編 ; 21巻 . 超LSI技術 ; 8). <BB00243625>
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プロセスの低温化

西澤潤一編. -- 工業調査会, 1985. -- (半導体研究 / 半導体研究振興会編 ; 21巻 . 超LSI技術 ; 8). <BB00243625>
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所蔵一覧 1件～1件（全1件）

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No. 巻号 所蔵館 配置場所 請求記号 資料ID 状態 コメント 予約 WEB書棚
0001 相模原分館 相自動書庫図書 549.8||H22H||V.21 748705093 0件
No. 0001
巻号
所蔵館 相模原分館
配置場所 相自動書庫図書
請求記号 549.8||H22H||V.21
資料ID 748705093
状態
コメント
予約 0件
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書誌詳細

標題および責任表示 プロセスの低温化 / 西澤潤一編
プロセス ノ テイオンカ
出版・頒布事項 東京 : 工業調査会 , 1985.3
形態事項 10, 331p, 挿図 ; 27cm
巻号情報
ISBN 4769310439
書誌構造リンク 半導体研究 / 半導体研究振興会編||ハンドウタイ ケンキュウ <BB01142024> 21巻 . 超LSI技術||チョウ LSI ギジュツ ; 8//bb
注記 執筆: 石川潔ほか
注記 各章末: 参考文献
NCID BN00282757
本文言語コード 日本語
著者標目リンク 西澤, 潤一(1926-)||ニシザワ, ジュンイチ <AU40025517>
分類標目 電子工学 NDC8:549
分類標目 科学技術 NDLC:ND371
件名標目等 半導体||ハンドウタイ
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