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プロセスの基礎

西沢潤一編. -- 工業調査会, 1983. -- (半導体研究 / 半導体研究振興会編 ; 20 . 超LSI技術 ; 7). <BB00084519>
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No. 巻号 所蔵館 配置場所 請求記号 資料ID 状態 コメント 予約 WEB書棚
0001 相模原分館 相自動書庫図書 549.8||H22H||V.20 748305598 0件
No. 0001
巻号
所蔵館 相模原分館
配置場所 相自動書庫図書
請求記号 549.8||H22H||V.20
資料ID 748305598
状態
コメント
予約 0件
WEB書棚

書誌詳細

標題および責任表示 プロセスの基礎 / 西沢潤一編
プロセス ノ キソ
出版・頒布事項 東京 : 工業調査会 , 1983.8
形態事項 10, 394p : :挿図 ; 27cm
巻号情報
ISBN 4769310323
書誌構造リンク 半導体研究 / 半導体研究振興会編||ハンドウタイ ケンキュウ <BB01142024> 20 . 超LSI技術||チョウ LSI ギジュツ ; 7//bb
注記 各章末: 参考文献
NCID BN00282815
本文言語コード 日本語
著者標目リンク 西澤, 潤一(1926-)||ニシザワ, ジュンイチ <AU40025517>
分類標目 電子工学 NDC8:549
分類標目 科学技術 NDLC:ND371
件名標目等 半導体||ハンドウタイ