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マイクロリソグラフィー : IC,LSIはこうしてつくられる

野々垣三郎著. -- 丸善, 1986. -- (Frontier technology series ; [002]). <BB00128988>
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野々垣三郎著. -- 丸善, 1986. -- (Frontier technology series ; [002]). <BB00128988>
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所蔵一覧 1件～2件（全2件）

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No. 巻号 所蔵館 配置場所 請求記号 資料ID 状態 コメント 予約 WEB書棚
0001 相模原分館 相自動書庫図書 749.13||N1-1 009219365 0件
0002 相模原分館 相自動書庫図書 549.7||25 738705434 0件
No. 0001
巻号
所蔵館 相模原分館
配置場所 相自動書庫図書
請求記号 749.13||N1-1
資料ID 009219365
状態
コメント
予約 0件
WEB書棚
No. 0002
巻号
所蔵館 相模原分館
配置場所 相自動書庫図書
請求記号 549.7||25
資料ID 738705434
状態
コメント
予約 0件
WEB書棚
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書誌詳細

標題および責任表示 マイクロリソグラフィー : IC,LSIはこうしてつくられる / 野々垣三郎著
マイクロ リソグラフィー : IC LSI ワ コウシテ ツクラレル
出版・頒布事項 東京 : 丸善 , 1986.10
形態事項 116p ; 19cm
巻号情報
ISBN 4621031155
書誌構造リンク Frontier technology series <BB00481288> [002]//a
NCID BN01140871
本文言語コード 日本語
著者標目リンク 野々垣, 三郎||ノノガキ, サブロウ <AU40060867>
分類標目 印刷 NDC8:749.1
分類標目 NDC7:749.13
分類標目 科学技術 NDLC:ND386
件名標目等 フォートエッチング||フォートエッチング
件名標目等 リソグラフィー||リソグラフィー
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