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機能薄膜プロセス技術集成

南日康夫,相沢益男編. -- リアライズ社, 1986. <BB00124962>
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南日康夫,相沢益男編. -- リアライズ社, 1986. <BB00124962>
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所蔵一覧 1件～1件（全1件）

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No. 巻号 所蔵館 配置場所 請求記号 資料ID 状態 コメント 予約 WEB書棚
0001 相模原分館 相2F一般500 549.8||N48K 880606168 0件
No. 0001
巻号
所蔵館 相模原分館
配置場所 相2F一般500
請求記号 549.8||N48K
資料ID 880606168
状態
コメント
予約 0件
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書誌詳細

標題および責任表示 機能薄膜プロセス技術集成 / 南日康夫,相沢益男編
キノウ ハクマク プロセス ギジュツ シュウセイ
出版・頒布事項 東京 : リアライズ社 , 1986.1
形態事項 421p ; 31cm
注記 各章末:参考文献
NCID BN02875228
本文言語コード 日本語
著者標目リンク 南日, 康夫||ナンニチ, ヤスオ <AU40015158>
著者標目リンク 相澤, 益男(1942-)||アイザワ, マスオ <AU40056528>
分類標目 電子工学 NDC8:549
分類標目 科学技術 NDLC:ND371
件名標目等 薄膜||ハクマク
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