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微細加工 : サブミクロン素子への展開

中野朝安 [ほか] 著. -- 東京電機大学出版局, 1989. <BB00795751>
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微細加工 : サブミクロン素子への展開

中野朝安 [ほか] 著. -- 東京電機大学出版局, 1989. <BB00795751>
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所蔵一覧 1件～3件（全3件）

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No. 巻号 所蔵館 配置場所 請求記号 資料ID 状態 コメント 予約 WEB書棚
0001 青山本館 青自動書庫一般 549.8||N6-1 009351044 0件
0002 相模原分館 相自動書庫図書 549.8||N29B 748906001 0件
0003 相模原分館 相自動書庫図書 549.8||N29B 779405570 0件
No. 0001
巻号
所蔵館 青山本館
配置場所 青自動書庫一般
請求記号 549.8||N6-1
資料ID 009351044
状態
コメント
予約 0件
WEB書棚
No. 0002
巻号
所蔵館 相模原分館
配置場所 相自動書庫図書
請求記号 549.8||N29B
資料ID 748906001
状態
コメント
予約 0件
WEB書棚
No. 0003
巻号
所蔵館 相模原分館
配置場所 相自動書庫図書
請求記号 549.8||N29B
資料ID 779405570
状態
コメント
予約 0件
WEB書棚
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書誌詳細

標題および責任表示 微細加工 : サブミクロン素子への展開 / 中野朝安 [ほか] 著
ビサイ カコウ : サブミクロン ソシ エノ テンカイ
出版・頒布事項 東京 : 東京電機大学出版局 , 1989.3
形態事項 vi, 240p ; 21cm
巻号情報
ISBN 4501313307
XISBN 4501313300
NCID BN03301767
本文言語コード 日本語
著者標目リンク 中野, 朝安(1923-)||ナカノ, トモヤス <AU40189986>
分類標目 電子工学 NDC8:549.7
分類標目 科学技術 NDLC:ND386
件名標目等 集積回路||シュウセキカイロ
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