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スパッタ薄膜 : 基礎と応用

小林春洋著. -- 日刊工業新聞社, 1993. <BB00979302>
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スパッタ薄膜 : 基礎と応用

小林春洋著. -- 日刊工業新聞社, 1993. <BB00979302>
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所蔵一覧 1件～1件（全1件）

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No. 巻号 所蔵館 配置場所 請求記号 資料ID 状態 コメント 予約 WEB書棚
0001 相模原分館 相2F一般500 549.8||K12S 780105244 0件
No. 0001
巻号
所蔵館 相模原分館
配置場所 相2F一般500
請求記号 549.8||K12S
資料ID 780105244
状態
コメント
予約 0件
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書誌詳細

標題および責任表示 スパッタ薄膜 : 基礎と応用 / 小林春洋著
スパッタ ハクマク : キソ ト オウヨウ
出版・頒布事項 東京 : 日刊工業新聞社 , 1993.2
形態事項 v, 172, viip ; 21cm
巻号情報
ISBN 4526032735
NCID BN08694157
本文言語コード 日本語
著者標目リンク 小林, 春洋(1925-)||コバヤシ, ハルヒロ <AU40151130>
分類標目 電子工学 NDC8:549
件名標目等 薄膜||ハクマク
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